ΜΜ-Η19Τεχνολογία VLSI και Προσομοίωση Διεργασιών
ΕΙΣΗΓΗΤΗΣ:Επ. Καθηγήτρια Δ. Γκιργκινούδη

Εισαγωγή στην τεχνολογία VLSI (σημερινά VLSI συστήματα - νέας γενιάς υβριδικά συστήματα). Τεχνολογίες κατασκευής μικροκυκλωμάτων: Οξείδωση-διηλεκτρικά υλικά. Εμφύτευση και διάχυση-σχηματισμός ενεργών ημιαγωγικών στρωμάτων. Μεταφορά προτύπων (patterns)- μικρολιθογραφία. Τεχνικές συναρμολόγησης και συσκευασίας. Ολοκλήρωση των διεργασιών VLSI: Hλεκτρική απομόνωση των διατάξεων, Επαφές, Επιμετάλλωση-υλικά διασυνδέσεων. Φυσικά πρότυπα (models) για την προσομοίωση διεργασιών VLSI. Τεχνολογίες CMOS-BiCMOS. Τεχνολογίες διπολικών τρανζίστορ. Τεχνολογίες διατάξεων SOI. Τεχνολογίες SiGe. Τεχνολογίες SiC. Τεχνολογίες FET GaAs.

 

ΕΠΙΣΤΡΟΦΗ ΣΤΗ ΛΙΣΤΑ ΤΩΝ ΜΑΘΗΜΑΤΩΝ