Μικροηλεκτρονική Τεχνολογία Μεγάλων Επιφανειών

Εισαγωγή στην Μικροηλεκτρονική μεγάλων επιφανειών (Large Area Microelectronics). Κατασκευή δομών λεπτών υμενίων σε μεγάλες επιφάνειες. Φυσική άμορφων και πολυκρυσταλλικών οργανικών και ανόργανων υλικών. Ιδιότητες εύκαμπτων και άκαμπτων υποστρωμάτων. Τεχνικές εναπόθεσης PECVD, PVD, LPCVD, inkjet printing και ξηρής εγχάραξης RIE σε μεγάλες επιφάνειες και εξοπλισμός μονάδων παραγωγής. Μικροηλεκτρονικές διατάξεις (τρανζίστορ λεπτών υμενίων TFT, OLED, imagers, sensors, memories). Εφαρμογή της Μικροηλεκτρονικής μεγάλων επιφανειών στην τεχνολογία επίπεδων οθονών και στην τεχνολογία Φωτοβολταϊκών δεύτερης γενιάς (a--Si, μ--Si, CI(G)S, CdTe, ...). Κατασκευή, λειτουργία, παραγωγή, αξιοπιστία και προοπτικές.